青花大学一号报告厅。
“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会如期举行。
“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”龙国科技重大专项(02专项)实施管理办公室
及一系列专家坐在台下。
静静的倾听着。
02专项总体组技术总师、龙科院微电子研究所所长叶图春研究员,正在台上,汇报着项目取得的一系列成果:
“极紫外光刻发展的超高精度非球面加工与检测”!
“极紫外多层膜”!
“投影物镜系统集成测试”!
“波像差优于0.75nmRMS的两镜EUV光刻物镜系统”!
“EUV光刻曝光装置”!
汇报完毕,台下响起了经久不息的热烈掌声!
龙国科技重大专项(02专项)实施管理办公室主任刘德利:
“作为前瞻性EUV光刻关键技术研究,项目指标要求高,技术难度大、瓶颈多,创新性高,同时国外技术封锁严重。
项目研究团队秉承锲而不舍的科研精神,潜心钻研,厚积薄发,突破了制约。
圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标,实现EUV光学成像技术跨越。
显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平。
同时,项目的实施形成了一支稳定的研究团队,为我国能够在下一代光刻技术领域实现可持续发展奠定坚实的技术与人才基础。”
02专项总体组技术总师、龙科院微电子研究所所长叶图春研究员:
“在国际上EUV光刻大生产基地已经建立的形势下,龙国EUV光刻研究要继续坚持下去,着力点要放在必须掌握的核心技术和有可能取得创新的突破点。
从时机及技术难度方面考虑,EUV项目的布局正处于窗口期,希望国家给予持续稳定的支持。”
龙国科技重大专项(02专项)实施管理办公室主任刘德利正准备表态。
忽然,台下响起了一道不合时宜的声音!
“我不同意!”
众人齐刷刷扭头,怒目而视!
如此严肃团结的验收大会,竟然出现了捣乱分子!
青花大学校长王南轩,微微皱眉,是他!
顾浩轩,那个被龙国二号人物推荐保送至青花大学的少年!
王南轩暗自沉思,这孩子怎么会出现在这种场合,这不是他来的地方啊?
他为什么反对龙国继续研究EUV呢,难道是上面的意思?
那为什么不通过龙科院或科技部来通知我们呢?
这背后究竟有着什么不可告人的秘密?
作为青花大学的校长,城府深似海,不然也不回坐到这个位置,转瞬间他已经思考了很多、很多。
不过他却不知道。
顾浩轩来到这发布会,还真不是谁授意的。
而是偷偷跟着未婚妻容思雨悄悄混进来的!
主席台上,众多专家学者,都是大人物,智商极高。
见青花大学校长王南轩并未招来保卫人员轰他出去,甚至并未出声阻止。
都是老油条般的人物,沉稳似海。
最终,还是龙国科技重大专项(02专项)实施管理办公室主任刘德利率先发言: